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特點(diǎn)：        
*分辨率為0.1/0.5μm時(shí)，精度可高達(dá)(1.3+0.6L/600)μm；        
*確保垂直度（前部）達(dá)6μm，直線度達(dá)4μm；        
*全/半空氣浮動(dòng)系統(tǒng)可調(diào)節(jié)氣墊；        
*GO/NO-GO LED顯示.        
*帶有基本統(tǒng)計(jì)功能，另外，通過RS-232C數(shù)據(jù)輸出與帶有SPC軟件的電腦相連，        
可實(shí)現(xiàn)外部測(cè)量數(shù)據(jù)評(píng)估；        
*大容量數(shù)據(jù)存儲(chǔ)，可儲(chǔ)存50個(gè)測(cè)量程序和60000個(gè)測(cè)量結(jié)果        
技術(shù)參數(shù)：